包覆式活性碳滤网

标准尺寸厚度6寸、12寸，外框材质为金属框。滤材型式分为万用型、除酸性，除硷型三种，去除挥发性有机物、一般室外污染源、酸类以及氨及胺类。可使用于半导体产业及高精密电子产业。特性为低发尘量及低压损，适用于空调箱及机台设备端。

选用要则：针对不同的化学气体，可选用不同的滤材型式，以达到应有的处理效果。
1.针对所要过滤的污染物选择适当的吸附剂材料
2.去除效率高
3.低压损以降低风机的负载
4.低发尘量
5.低挥发性气体
6.便于安装要求质轻
7.针对要求的效率下去除容量要大即寿命长，以减少更换次数也确保制程环境的洁净度

※853（2750）滤材-去除挥发性有机物、二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢，此滤材为有效去除挥发性有机物的滤材，同时它对一般室外的污染物有相当可观的容量，如二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢，此滤材对于去除硼也非常有效（例如：常用的HEPA及ULPA滤网）
※147（2752）滤材-用于去除氨及胺类（含有氮的有机化合物，如NMP,monoethylamine,morpholine,cyclohexylamine,dimethylamine,trimehylamine,diehylamine,HMDS等）
※875（2751）滤材-对除二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢也非常有效。【比853（2750）滤材效果还好】
※147（2752）及875（2751）两种滤材都可以去除挥发性有机物，然而，使用寿命与853（2750）滤材相较减少了一半。
外框：框材可选用纸框，镀锌铁框或不锈钢框
外框设计：箱型、单法兰、双法兰

风量关系曲线图

活性碳滤网性能表-包覆式活性碳滤网

材质和使用条件

1. 控制臭味和气体污染之的四种方式：防毒面具、燃烧、通风与移除。
2. 颗粒状滤材用来控制气体气体污染物有两种方式：吸附与氧化。
3. 化学滤网以吸附与吸著原理来移除气体污染物分子。
4. 吸附：当气体或液体分子碰到吸附体表面被抓著且无发生化学反应。
5. 吸著：当气体或液体分子碰到吸附体表面被抓著且发生化学反应。
6. 被吸附物质的沸点、蒸气压及活性是影响初效率的主要因素。一般沸点大于100℃的物质室温下的状态为液态，其蒸气较易于吸附凝结在吸附剂的表面。
7. 分子性污染物系统，初的污染物去除效率，并非由活性碳颗粒大小、重量及活性决定。决定初效率　的两个因素为吸收体及化学物的表面积。
8. 活性碳颗粒越细，其表面积越大。活性碳颗粒可以非常小，甚至为碳尘。此将会随气流溢散或因填充密实而产生高压损等缺点。
9. 不同分子量的污染物均可竞争相同的吸附表面，由于湿气会占据吸附表面固通常潮湿的天气下吸附效率会较差。温度亦会影响吸附效率，温度越高物理吸附能力越低。
10. 分子量小、沸点点在常温为气态的物种，因吸附剂表面无法凝结液化，不易稳定附著在吸附剂表面，容易脱离氧化或被其它分子取代。

Typical Compounds of Class A, B, C, D (according SEMI F21-95)

AMC（Airborne Molecular Contamination）分类方法为SEMI（Semiconductor Equipment And Materials International）组织在SEMI F21-95中对AMC气态污染物所做的分类，包括酸性（Acids）、碱性（Bases）、可凝结物（Condensables）及植入物（Dopants），所属污染物质如下：